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直讀光譜儀入射光路

直讀光譜儀的入射光路指光譜儀在曝光階段，將光源激發(fā)出來后的光譜光通量全部射入光學(xué)室內(nèi)凹面光柵上。在凹面光柵狹縫掃描時(shí)，入射光路輸送從汞燈發(fā)生的光進(jìn)入光柵產(chǎn)生Hg的譜線（汞線253，6nm)，由光電倍增管輸出光電流信號再經(jīng)過放大器放大，用微安表指示出來。當(dāng)光路采用聚焦透鏡直射入射狹縫到達(dá)凹面光柵的分光系統(tǒng)時(shí)，不用Hg線進(jìn)行入射狹縫調(diào)整，而是采用元素掃描（通常選擇基體元素）來校準(zhǔn)入射狹縫。

入射光路結(jié)構(gòu)

入射光路除入射狹縫（25m寬）之外還有球面反射鏡。它的作用是將兩個(gè)樣品臺上激發(fā)的光譜亮度全部反射到入射狹縫。為了提高紫外光200nm以下元素的反射能力，凹面反射鏡表面需涂氟化鎂，入射狹縫和球面反射鏡裝在真空室內(nèi)。

光路中具有兩個(gè)反射鏡，其中之一是在右樣品臺激發(fā)樣品時(shí)，使反射鏡進(jìn)入光路，汞燈反射鏡退出光路，將激發(fā)光亮反射到球面反射鏡上。然后進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵分光。

移動(dòng)直讀光譜儀

Hg反射鏡是供狹縫掃描時(shí)用的，當(dāng)左樣品架激發(fā)樣品時(shí)，進(jìn)入曝光階段，Hg反射鏡將退出光路，使左樣品架激發(fā)光引入球面反射鏡，進(jìn)入入射狹縫到達(dá)凹面光柵進(jìn)行分光。

光路中兩個(gè)反射鏡區(qū)域處于非真空狀態(tài)。對于短紫外線的元素（C、P、S、As、B、Sn等等）這是一個(gè)致命的問題。這個(gè)區(qū)域中存在氧氣、空氣、水汽將200nm以下波段的輻射吸收掉。光電直讀光譜儀無法分析這些元素的含量。氧對于從130～195nm的輻射都有吸收，而在140nm附近吸收最激烈。

創(chuàng)想直讀光譜儀對此重新研制了新的光路結(jié)構(gòu)，使得氬氣使用的含量變少了，并且使用真空泵來節(jié)省氬氣的消耗，一般平均一罐氬氣可以使用5-6天，而創(chuàng)想采用了這種結(jié)構(gòu)后，氬氣的使用大大減少，并且上述致命問題得到解決。